Plasmaoverflaterengjøring er en prosess der urenheter og forurensninger fra prøveoverflaten fjernes ved dannelse av høyenergiplasma fra gassformige partikler, den ble designet for ulike bruksområder som overflaterengjøring, overflatesterilisering, overflateaktivering, overflateenergiendring, overflatebehandling for liming og vedheft, modifikasjon av overflatekjemi.